เครื่องตรวจจับการรั่วไหลของฮีเลียมแบบกระโดด Vakuum สําหรับอุตสาหกรรมครึ่งประสาท

เครื่องตรวจจับการรั่วไหลของฮีเลียม SFJ-16M

ตัวชี้วัดการทํางาน






 

อัตราการรั่วไหลขั้นต่ําที่สามารถตรวจสอบได้
(พาร์ม)³/s) / รูปแบบว่าง

รูปแบบแวคิวัม (ULTRA):5.0 × 10^{- 13} ปา³/s(ความเร็วการสูบฮีเลียม > 5 l/s)
รูปแบบการดูด (FINE):1.0 × 10^{- 12} ปา³/s(ความเร็วการสูบฮีเลียม 2.5L/s)

อัตราการรั่วไหลขั้นต่ําที่สามารถตรวจสอบได้
(Pa·m3/s) / รูปแบบ sniffer

5.0 × 10^{- 8}ปา³/s

เวลาตอบสนอง

< 1

เวลาเริ่มต้น ((นาที)

≤ 95s

ระยะการตรวจพบการรั่ว
(พาร์ม)³/s)

5.0 × 10^{- 13}~1.0×10^-3ปา³/s

ระยะแสดงอัตราการรั่ว
(พาร์ม)³/s)

1.0 × 10^{- 13}~1.0×10^-3 ปา³/s

ความดันการตรวจสอบการรั่วไหลสูงสุดที่อนุญาต ((Pa)

1500

คุณภาพที่สามารถตรวจสอบได้

2,3,4 ((H2, He3, He4)

การตั้งค่าพื้นฐาน










 

อินเตอร์เฟซมนุษย์เครื่อง

หน้าจอสัมผัส LCD สี 5 "

แหล่งไอออน

2 ชิ้น อีริดีਅਮเคลือบไอทริยัมโอกไซด์ ติดอัตโนมัติ

อินเตอร์เฟซ I/O Input/Output

8 ทางเข้าและ 8 ทางออก

อินเตอร์เฟซการสื่อสาร

RS232/485,LAN

อินเตอร์เฟซ MES

มาตรฐาน

ขนาดของเครื่องมือ
(W) × ((D) × ((H), มม

592 * 498 * 370 มม.

รายละเอียดของท่าตรวจจับการรั่ว

DN16 KF/2 ชิ้น

พลังงาน

DC24V

อุณหภูมิการทํางาน

0-40oC

พลัง

240W

ภาษาแสดง

ทั้งภาษาจีนและภาษาอังกฤษ

การแสดงอัตราการรั่ว

รูปภาพ, แผนบาร์, แผนโค้ง